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氢化物气体在线式纯化器
Aeronex 超高纯金属催化剂纯化介质氢化物气体(NH3,AsH3,PH3,SiH4,GeH4,B2H6,Si2H6等)在线式纯化器
Gatekeeper 氢化物气体在线式纯化器
Aeronex 专利的常温纯化技术
超高纯金属催化剂纯化介质
常温纯化技术,非消耗性纯化介质,完全可再生(工厂)
气体穿透通过纯化介质整体,非常大的介质整体表面积,高效去除H2O, O2, CO, CO2 及非甲烷类碳氢化合物, 有效去除至小于1ppb或低于仪器检测下限

适用气体: NH3, SiH4, GeH4, AsH3, PH3, B2H6 and Hydride/Hydrogen and Hydride/Inert Gases

去除杂质:H2O, O2, CO, CO2, NMHCs

出口气体中污染物质含量: <1 ppb (H2O, O2, CO, CO2, NMHCs)

气体流量: 1 ~ 1000slpm (不同型号)
 
 
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