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腐蚀性气体在线式纯化器
Aeronex腐蚀性气体(HCl, CI2, HF, F2, HBr, BCl3, SiCl4, SiF4等)在线式纯化器
Gatekeeper 腐蚀性气体在线式纯化器
Aeronex 专利的常温纯化技术
超高纯金属催化剂纯化介质
常温纯化技术,非消耗性纯化介质,完全可再生(工厂)
气体穿透通过纯化介质整体,非常大的介质整体表面积,高效去除H2O至小于100ppb或低于仪器检测下限

适用气体: Cl2, HCl, SiCl4, SiH2Cl2, BCl3, F2, HF, SiF4, HBr

去除杂质:H2O

出口气体中污染物质含量: <100 ppb (H2O)

气体流量: 1 ~ 1000slpm (不同型号)
 
 
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