产品目录 位置 > 产品与服务 > Aeronex/Entegris 气体纯化器/纯化系统 > 现场自动再生气体纯化系统
氮气及惰性气体现场自动再生纯化系统
Aeronex EGPS 氮气(N2)及惰性气体(He, Ne, Kr, Xe, Ar等)现场自动再生纯化系统
EGPS 惰性气体现场自动再生纯化系统
Aeronex 专利的常温纯化技术
超高纯金属催化剂纯化介质, 现场自动再生
常温纯化技术,电源故障对纯化及系统无任何损伤
双纯化单元, 纯化与再生过程自动切换,保障连续供气
体穿透通过纯化介质整体,非常大的介质整体表面积,高效去除H2O, O2, CO, CO2 及非甲烷类碳氢化合物, 有效去除至小于1ppb或低于仪器检测下限
即时开机, 即时关机
低拥有成本,低使用成本


适用气体:N2, He, Ne, Kr, Xe, Ar
出气的纯度:< 1ppb (>99.9999999% 9N)(1*10-9)
有效去除杂质: H2O, O2, CO, CO2, and non-methane hydrocarbons (水,氧气,一氧化碳,二氧化碳及非甲烷类碳氢化合物)
出气颗粒洁净度:0.003um,颗粒过滤效率大于99.9999999%
出气流量: 120slpm, 300slpm, 1000slpm (不同型号)
最大工作压力:250psig(EGPS4), 150psig (EGPS8/EGPS12)
系统最大压降: <17psi (最大流量下)
带自动旁路系统
现场自动再生
 
 
English   |   关于我们   |    方针策略
Copyright © 2007 www.mykrons.com, All Rights Reserved    |    京ICP证09012820号
京公网安备110105007481号