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使用点过滤器
最大限度地提高颗粒过滤效率、极高机械强度、极高可靠性, GasShield POU使用点过滤器是半导体制造行业第一个、也是最大及产品最广泛的完全金属过滤器,最新的Sentry镍多孔金属过滤介质及完全不锈钢结构的Defender产品系列,向用户提供了颗粒过滤的最高保障.
GasShield POU 使用点过滤器
GasShield POU关键特征:

9-log 颗粒过滤效率;
最大流量下, >99.9999999%颗粒过滤效率(0.003µ;m及以上所有尺寸颗粒), 0.08µ;m MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认;
最大推荐流量::10, 30, 60, 100, 150, 300slpm

高性能
最高使用温度:450°C (inert gas);
可耐受压差:1000psi (69 bar) @ 20°C;
漏率:1 x 10-9 atm cc/sec;
ppt dry-down目标可达到;
最大流量下过滤器下游零颗粒检测(过滤器上游颗粒>1万亿);
颗粒脱落: <1 particle/ft3 (依照SEMASPEC 93021511A-STD);

坚固耐用高品质构造
5 Ra 内表面电解抛光;
过滤介质完全烧结工艺制造,无其它任何粘结或添加物质;
满足 > 9-log颗粒过滤效率、最大流量下最小压降过滤介质表面积最小化设计,以保证近乎零out-gassing;
过滤介质与过滤器外壳为完全焊接结构;

材质
316L烧结不锈钢、烧结金属镍多孔金属过滤介质,316L VAR不锈钢或镍过滤器外壳, EP电解抛光;
Hastelloy C-22烧结多孔金属过滤介质用于HCI、 HBr 及 WF6等气体,Hastelloy C-22过滤器外壳。
100级洁净间制造,超高纯洁净包装。

GasShield PENTA-MV
完全金属构造,最小内部空间设计,最大限度减少内部死角,最大限度消除水、颗粒及其它污染吸附;
超长使用寿命,过滤器外壳为实芯棒料直接加工制造,消除焊接部位的泄漏及腐蚀可能,以保障过滤器外壳最大限度的洁净,单元焊接结构最大限度减小焊接区域面积;
大流量烧结金属镍过滤介质;
最快干燥及减少吹扫时间;
最大流量:15slpm @ 9 LRV
非焊接外壳。

GasShield PENTA 使用点(POU)过滤器
高强度烧结金属镍过滤介质;
大流量,小尺寸;
最大流量:75slpm @ 9 LRV
高可靠过滤性能。
 
Sentry 过滤器
具有极薄Teflon ®;滤膜过滤器较大流量特征的高强度、超长适用寿命的Mott多孔金属过滤器。

PENTA®; 镍多孔金属过滤介质;
最大流量下,真正9-Log 0.003µ;m颗粒过滤效率(@ 30slpm);
最高使用温度: 450°C (inert gas);
最高耐受压力:3000 PSIG (206.8 Bar) @ 52°C;
最大耐受压差:500 PSIG (34.5 Bar) @ 52°C;
316L VAR 不锈钢外壳;
漏率:1 x 10-9atm cc/sec氦气;
颗粒脱落:< 1 Particle/Ft3 Particle;
100级洁净间制造,超高纯洁净包装。
 
GasShield Defender 过滤器
完全不锈钢构造,高强度、超长使用寿命Mott多孔金属过滤器

316L不锈钢多孔金属过滤介质;
最大流量下,真正9-Log 0.003µ;m颗粒过滤效率(@ 30slpm),,0.08µ;m MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认;
最高使用温度:450°C (inert gas);
最高耐受压力:3000 PSIG (206.8 Bar) @ 52°C;
最大耐受压差:1000 PSIG (68.9 Bar) @ 52°C;
316L VAR 不锈钢外壳;
10Ra内表面电解抛光;
漏率:1 x 10-9atm cc/sec氦气;
颗粒脱落:< 1 Particle/Ft3 Particle;
THC(总有机碳)挥发低于仪器检测下限;
<10ppb H2O (1小时,常温,低流量吹扫);
100级洁净间制造,超高纯洁净包装。
 
 
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