产品目录 位置 > 产品与服务 > Mott 过滤器 扩散器 限流器 气体分布器 > 半导体制造用过滤器、扩散器、限流器
使用点气体过滤器
最大限度地提高颗粒过滤效率、极高机械强度、极高可靠性, GasShield POU使用点过滤器是半导体制造行业第一个、也是最大及产品最广泛的完全金属过滤器,最新的Sentry镍多孔金属过滤介质及完全不锈钢结构的Defender产品系列,向用户提供了颗粒过滤的最高保障.
GasShield POU 使用点过滤器
GasShield POU关键特征:

9-LRV 颗粒过滤效率;
最大流量下, >99.9999999%颗粒过滤效率(0.0015µ;m及以上所有尺寸颗粒), 0.08µ;m MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认;
最大推荐流量::10, 30, 60, 100, 150, 300slpm

高性能
最高使用温度:450°C (inert gas);
可耐受压差:1000psi (69 bar) @ 20°C;
漏率:1 x 10-9 atm cc/sec;
ppt dry-down目标可达到;
最大流量下过滤器下游零颗粒检测(过滤器上游颗粒>1万亿);
颗粒脱落: <1 particle/ft3 (依照SEMASPEC 93021511A-STD);

坚固耐用高品质构造
5 Ra 内表面电解抛光;
过滤介质完全烧结工艺制造,无其它任何粘结或添加物质;
满足 > 9-log颗粒过滤效率、最大流量下最小压降过滤介质表面积最小化设计,以保证近乎零out-gassing;
过滤介质与过滤器外壳为完全焊接结构;

材质
316L烧结不锈钢、烧结金属镍多孔金属过滤介质,316L VAR不锈钢或镍过滤器外壳, EP电解抛光;
Hastelloy C-22烧结多孔金属过滤介质用于HCI、 HBr 及 WF6等气体,Hastelloy C-22过滤器外壳。
100级洁净间制造,超高纯洁净包装。
 
Sentry 过滤器
SEN331NFF11
SEN280NFP11
SEN112NTT11

具有极薄Teflon ®;滤膜过滤器较大流量特征的高强度、超长适用寿命的Mott多孔金属过滤器。

PENTA®; 镍多孔金属过滤介质;
最大流量下,真正9-LRV 0.0015μm颗粒过滤效率(@ 30slpm);
最高使用温度: 450°C (inert gas);
最高耐受压力:3000 PSIG (206.8 Bar) @ 52°C;
最大耐受压差:500 PSIG (34.5 Bar) @ 52°C;
316L VAR 不锈钢外壳;
漏率:1 x 10-9atm cc/sec氦气;
颗粒脱落:< 1 Particle/Ft3 Particle;
100级洁净间制造,超高纯洁净包装。
 
GasShield Defender 过滤器
完全不锈钢构造,高强度、超长使用寿命Mott多孔金属过滤器

316L不锈钢多孔金属过滤介质;
最大流量下,真正9-LRV 0.0015µ;m颗粒过滤效率(@ 标称流量),0.08µ;m MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认;
最高使用温度:450°C (inert gas);
最高耐受压力:3000 PSIG (206.8 Bar) @ 52°C;
最大耐受压差:1000 PSIG (68.9 Bar) @ 52°C;
316L VAR 不锈钢外壳;
10Ra内表面电解抛光;
漏率:1 x 10-9atm cc/sec氦气;
颗粒脱落:< 1 Particle/Ft3 Particle;
THC(总有机碳)挥发低于仪器检测下限;
<10ppb H2O (1小时,常温,低流量吹扫);
100级洁净间制造,超高纯洁净包装。
 
POU-05-FSV1 在线式气体过滤器
POU-05-FSV1

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 15 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 3000 psig (206.8 barg)
最高使用温度: 460°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
POU-05-NS 在线式气体过滤器
POU-05-NSV1
POU-05-NST1

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 30 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
POU-05-H 哈氏合金(HASTELLOY) 在线式气体过滤器
POU-05-HV1

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 8 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
过滤器外壳: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
POU-05-S 在线式气体过滤器
POU-05-SV1
POU-05-ST1

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 10 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
POU-015-S 在线式气体过滤器
POU-015-SV1
POU-015-ST1
POU-015-SV3

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 30 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
POU-3-S 在线式气体过滤器
POU-3-SV1
POU-3-SV3

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 60 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
POU-3-NS 在线式气体过滤器
POU-3-NSV1

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 100 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
POU-3-H 哈氏合金(HASTELLOY) 在线式气体过滤器
POU-3-HV1
POU-3-HV3

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 45 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
过滤器外壳: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
POU-3-HS 哈氏合金(HASTELLOY)/316L SS 在线式气体过滤器
POU-3-HSV1
POU-3-HSV3

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 45 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
POU-10-S 在线式气体过滤器
POU-10-SV1
POU-10-SV3
POU-10-ST1
POU-10-ST3

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 150 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
POU-10-H 哈氏合金(HASTELLOY) 在线式气体过滤器
POU-10-HV1
POU-10-HV3

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 100 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
过滤器外壳: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
POU-10-HS 哈氏合金(HASTELLOY)/316L SS 在线式气体过滤器
POU-10-HSV1
POU-10-HSV3

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 100 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
POU-30-S 在线式气体过滤器
POU-30-SV3
POU-30-ST3

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 300 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
GSP3752 在线式气体过滤器
GSP3752FF11
GSP3752TT11

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 30 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
GSP3753 在线式气体过滤器
GSP3753FF11
GSP3753TT11

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 50 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
GSP5754 在线式气体过滤器
GSP5754FF11
GSP5754TT11
GSP5754FF33

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 75 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
GSP315H1 在线式气体过滤器
GSP315H1FF11

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 80 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
 
GSP315H3 在线式气体过滤器
GSP315H3FF11
GSP315H3FF33

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 120 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
 
GSP515H1 在线式气体过滤器
GSP515H1FF11
GSP515H1FF33

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 150 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
 
GSP515H3 在线式气体过滤器
GSP515H3FF11
GSP515H3FF33

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 250 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
 
DEF331 在线式气体过滤器
DEF331FF11
DEF280FP11
DEF112TT11

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 50 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 3000 psig (206.8 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
DEF315H 在线式气体过滤器
GSP315H1FF11

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 300 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
 
GSPMV 在线式气体过滤器
GSPMVFF11
GSPMVFP11

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 15 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
 
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