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GasShield POU 使用点过滤器
GasShield POU关键特征：
9-LRV 颗粒过滤效率；
最大流量下， >99.9999999%颗粒过滤效率(0.0015µ;m及以上所有尺寸颗粒)， 0.08µ;m MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认；
最大推荐流量:：10, 30, 60, 100, 150, 300slpm
高性能
最高使用温度：450°C (inert gas)；
可耐受压差：1000psi (69 bar) @ 20°C；
漏率：1 x 10-9 atm cc/sec；
ppt dry-down目标可达到；
最大流量下过滤器下游零颗粒检测(过滤器上游颗粒>1万亿)；
颗粒脱落: <1 particle/ft3 (依照SEMASPEC 93021511A-STD)；
坚固耐用高品质构造
5 Ra 内表面电解抛光；
过滤介质完全烧结工艺制造,无其它任何粘结或添加物质；
满足 > 9-log颗粒过滤效率、最大流量下最小压降过滤介质表面积最小化设计，以保证近乎零out-gassing；
过滤介质与过滤器外壳为完全焊接结构；
材质
316L烧结不锈钢、烧结金属镍多孔金属过滤介质，316L VAR不锈钢或镍过滤器外壳， EP电解抛光；
Hastelloy C-22烧结多孔金属过滤介质用于HCI、 HBr 及 WF6等气体，Hastelloy C-22过滤器外壳。
100级洁净间制造，超高纯洁净包装。 |
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Sentry 过滤器
SEN331NFF11
SEN280NFP11
SEN112NTT11
具有极薄Teflon ®;滤膜过滤器较大流量特征的高强度、超长适用寿命的Mott多孔金属过滤器。
PENTA®; 镍多孔金属过滤介质；
最大流量下，真正9-LRV 0.0015μm颗粒过滤效率(@ 30slpm)；
最高使用温度： 450°C (inert gas)；
最高耐受压力：3000 PSIG (206.8 Bar) @ 52°C；
最大耐受压差：500 PSIG (34.5 Bar) @ 52°C；
316L VAR 不锈钢外壳；
漏率：1 x 10-9atm cc/sec氦气；
颗粒脱落：< 1 Particle/Ft3 Particle；
100级洁净间制造，超高纯洁净包装。 |
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GasShield Defender 过滤器
完全不锈钢构造，高强度、超长使用寿命Mott多孔金属过滤器
316L不锈钢多孔金属过滤介质；
最大流量下，真正9-LRV 0.0015µ;m颗粒过滤效率(@ 标称流量)，0.08µ;m MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认；
最高使用温度：450°C (inert gas)；
最高耐受压力：3000 PSIG (206.8 Bar) @ 52°C；
最大耐受压差：1000 PSIG (68.9 Bar) @ 52°C；
316L VAR 不锈钢外壳；
10Ra内表面电解抛光；
漏率：1 x 10-9atm cc/sec氦气；
颗粒脱落：< 1 Particle/Ft3 Particle；
THC(总有机碳)挥发低于仪器检测下限；
<10ppb H2O (1小时,常温,低流量吹扫)；
100级洁净间制造，超高纯洁净包装。 |
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POU-05-FSV1 在线式气体过滤器
POU-05-FSV1
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 15 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 3000 psig (206.8 barg)
最高使用温度: 460°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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POU-05-NS 在线式气体过滤器
POU-05-NSV1
POU-05-NST1
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 30 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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POU-05-H 哈氏合金(HASTELLOY) 在线式气体过滤器
POU-05-HV1
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 8 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
过滤器外壳: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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POU-05-S 在线式气体过滤器
POU-05-SV1
POU-05-ST1
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 10 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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POU-015-S 在线式气体过滤器
POU-015-SV1
POU-015-ST1
POU-015-SV3
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 30 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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POU-3-S 在线式气体过滤器
POU-3-SV1
POU-3-SV3
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 60 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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POU-3-NS 在线式气体过滤器
POU-3-NSV1
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 100 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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POU-3-H 哈氏合金(HASTELLOY) 在线式气体过滤器
POU-3-HV1
POU-3-HV3
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 45 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
过滤器外壳: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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POU-3-HS 哈氏合金(HASTELLOY)/316L SS 在线式气体过滤器
POU-3-HSV1
POU-3-HSV3
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 45 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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POU-10-S 在线式气体过滤器
POU-10-SV1
POU-10-SV3
POU-10-ST1
POU-10-ST3
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 150 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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POU-10-H 哈氏合金(HASTELLOY) 在线式气体过滤器
POU-10-HV1
POU-10-HV3
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 100 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
过滤器外壳: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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POU-10-HS 哈氏合金(HASTELLOY)/316L SS 在线式气体过滤器
POU-10-HSV1
POU-10-HSV3
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 100 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 哈氏合金(Hastelloy C-22)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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POU-30-S 在线式气体过滤器
POU-30-SV3
POU-30-ST3
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 300 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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GSP3752 在线式气体过滤器
GSP3752FF11
GSP3752TT11
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 30 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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GSP3753 在线式气体过滤器
GSP3753FF11
GSP3753TT11
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 50 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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GSP5754 在线式气体过滤器
GSP5754FF11
GSP5754TT11
GSP5754FF33
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 75 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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GSP315H1 在线式气体过滤器
GSP315H1FF11
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 80 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
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GSP315H3 在线式气体过滤器
GSP315H3FF11
GSP315H3FF33
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 120 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
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GSP515H1 在线式气体过滤器
GSP515H1FF11
GSP515H1FF33
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 150 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
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GSP515H3 在线式气体过滤器
GSP515H3FF11
GSP515H3FF33
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 250 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
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DEF331 在线式气体过滤器
DEF331FF11
DEF280FP11
DEF112TT11
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 50 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 3000 psig (206.8 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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DEF315H 在线式气体过滤器
GSP315H1FF11
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 300 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
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GSPMV 在线式气体过滤器
GSPMVFF11
GSPMVFP11
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 15 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
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