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液体供给系统
LSS自动药液供应系统
概述
LSS系列:自动药液供应系统,从内部储液罐向多个储液罐供应化学药液

特性
支持多线及单线药液供应
洁净设计,易于维护
多种报警功能
针对特殊性能的药液,安全、稳定
  详细信息请联络 support@mykrons.com .
LVS液体汽化系统
概述
LVS系列:使用液体质量流量计与汽化器组合,小巧、紧凑型蒸汽供应系统

特性
一体化设计,支持蒸汽供应多种应用设施
按用户特殊应用的药液特性、流量、使用条件定制
洁净设计,易于维护
针对特殊性能的药液,安全、稳定
  详细信息请联络 support@mykrons.com .
FL混气系统
概述
FL系列:使用质量流量控制器,实现多种气体按特定流量及浓度的混合

特性
特定气体、按照特定需求混合
自动供给恒定浓度混合气体,不受供应气体浓度的影响
按用户特殊应用的气体特性、流量、使用条件定制
洁净设计,易于维护
多种报警功能
针对特殊性能的气体,安全、稳定
  详细信息请联络 support@mykrons.com .
 
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