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半导体制造用过滤器、扩散器、限流器
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Mott高纯多孔金属材料及技术
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Mott独有专利多孔金属材料突出优势
Mott高纯多孔金属材料化学兼容性
Mott高纯产品简介
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压力开关、真空开关、差压开关
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真空压力开关
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压力流量温度开关选型推荐
微差压监测器(差压计)
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LDP & LPS 微差压监测器(差压计)
流量开关及温度传感器
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LINTEC 质量流量控制器 流量计 汽化器
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液体质量流量控制器及质量流量计
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Yutaka 高纯减压阀
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半导体制造用超高纯减压阀
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L系列高纯减压阀
R系列高纯减压阀
U系列超高纯减压阀
气体供给及混合装置
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液体供给系统
LSS自动药液供应系统
概述
LSS系列:自动药液供应系统,从内部储液罐向多个储液罐供应化学药液
特性
支持多线及单线药液供应
洁净设计,易于维护
多种报警功能
针对特殊性能的药液,安全、稳定
详细信息请联络
support@mykrons.com
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LVS液体汽化系统
概述
LVS系列:使用液体质量流量计与汽化器组合,小巧、紧凑型蒸汽供应系统
特性
一体化设计,支持蒸汽供应多种应用设施
按用户特殊应用的药液特性、流量、使用条件定制
洁净设计,易于维护
针对特殊性能的药液,安全、稳定
详细信息请联络
support@mykrons.com
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FL混气系统
概述
FL系列:使用质量流量控制器,实现多种气体按特定流量及浓度的混合
特性
特定气体、按照特定需求混合
自动供给恒定浓度混合气体,不受供应气体浓度的影响
按用户特殊应用的气体特性、流量、使用条件定制
洁净设计,易于维护
多种报警功能
针对特殊性能的气体,安全、稳定
详细信息请联络
support@mykrons.com
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