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位置 > 产品与服务 > Mott 过滤器扩散器限流器气体分布器 > 半导体制造用过滤器、扩散器、限流器

Mott 过滤器扩散器限流器气体分布器.
UE 压力开关真空开关微差压监测器.
LINTEC 质量流量控制器流量计汽化器.
Yutaka 高纯减压阀.
- 半导体制造用超高纯减压阀.
- 气体供给及混合装置.

垫片式气体过滤器

置于1/4”VCR 或 1/2”VCR管路内部使用，多孔金属垫片式过滤器。

GasShield 垫片式过滤器
GSG-V4-1-N
GSG-V4-3-N
GSG-V4-1-2
GSG-V5-1-2N
GSG-V4-1-S
GSG-V4-3-S
GSG-V4-1-2S
GSG-V5-1-2S

置于1/4”VCR 或 1/2”VCR管路内部；
与绝大多数工艺气体完全兼容；
不受过滤器安装尺寸限制；
真正0.003微米颗粒过滤；
最大流量：1slpm，3slpm (0.003μm)；
20slpm,50slpm (0.4μm)；
最高使用温度：450°C (inert gas)；
可耐受压差：1000psi (69 bar) @ 20°C；
专利NanoMetal 金属镍或316L不锈钢材质。

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