产品目录 位置 > 产品与服务 > Mott 过滤器 扩散器 限流器 气体分布器 > 半导体制造用过滤器、扩散器、限流器
垫片式过滤器
置于1/4”VCR 或 1/2”VCR管路内部使用,多孔金属垫片式过滤器。
GasShield 垫片式过滤器
置于1/4”VCR 或 1/2”VCR管路内部;
与绝大多数工艺气体完全兼容;
不受过滤器安装尺寸限制;
真正0.003微米颗粒过滤;
最大流量:1slpm,3slpm (0.003µ;m);
20slpm (0.4µ;m);
最高使用温度:450°C (inert gas);
可耐受压差:1000psi (69 bar) @ 20°C;
专利NanoMetal 金属镍或316L不锈钢材质。
 
 
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