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GSP11215H1 大流量气体过滤器
GSP11215H1FF33
GSP11215H1TT33
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 400 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
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GSP11215H3 大流量气体过滤器
GSP11215H3FF33
GSP11215H3TT33
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 600 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
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GSP1500 大流量气体过滤器
GSP1500FF33
GSP1500TT33
GSP1500FF44
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 1500 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 650 psig (44.8 barg)
最高使用温度: 460°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 250 psid (17.2 bar)
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DEF515H 大流量气体过滤器
DEF515HFF33
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 650 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
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DEF2000 大流量气体过滤器
DEF2000FF33
DEF200025A5S
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 2000 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
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GasShield PENTA 大流量过滤器
大流量，低压降
9-LRV 颗粒过滤效率；
最大流量下，>99.9999999%颗粒过滤效率(0.0015µ;m及以上所有尺寸颗粒)，0.08µ;m MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认；
无与伦比的高强度 - Mott多孔金属材料过滤器最高耐受温度450°C，最高耐受压力3750psig，适合极端条件使用；
无材料转移 – Mott多孔金属材料之间属于高压高温固态扩散焊合，材料间极强的分子级粘附力使得Mott多孔金属材料极其坚固，即便是在极端条件下使用也牢不可摧，消除了材料碎裂及颗粒脱落的可能性。
坚固耐用高品质构造
5 Ra 内表面电解抛光；
金属镍过滤介质为完全烧结工艺制造，无其它任何粘结或添加物质；
满足 > 9-LRV颗粒过滤效率、最大流量下最小压降过滤介质表面积最小化设计，以保证近乎零的气体释放(out-gassing)；
过滤介质与过滤器外壳为完全焊接结构；
316L VAR不锈钢外壳，EP电解抛光；
100级洁净间制造，高纯氮气预处理，完全洁净包装。
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GasShield Defender大流量过滤器
大流量下,真正满足9-LRV颗粒过滤效率
316L不锈钢多孔金属过滤介质；
最大流量下，真正9-LRV 0.0015µ;m颗粒过滤效率(@ 标称流量)，0.08µ;m MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认；
最高使用温度：450°C (inert gas)；
最高耐受压力：2500 PSIG (206.8 Bar) @ 52°C；
最大耐受压差：1000 PSIG (68.9 Bar) @ 52°C；
316L VAR 不锈钢外壳；
5Ra内表面电解抛光；
漏率：1 x 10-9atm cc/sec氦气；
颗粒脱落：< 1 Particle/Ft3 Particle；
THC(总有机碳)挥发低于仪器检测下限；
<10ppb H2O (1小时、常温、低流量吹扫)；
100级洁净间制造，超高纯洁净包装。
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