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压力不敏感质量流量控制器
压力不敏感质量流量控制器及质量流量计
MC-1000P 系列
压力不敏感质量流量控制器
多气体、多量程,有效减少库存,降低总拥有成本;
超高精度、超快响应速度,最高端MFC产品;


主要特性:
压力不敏感质量流量控制器,最大限度减小气体压力变化对控制精度的影响;
多种气体及多种流量范围,可以自由地指定气体类型及更改满量程流量,现场设定,可以最大限度地减少库存;
超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
快速响应:<1秒;
非常方便的现场设置操作;
金属密封(SUS316L);
与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
模拟通信与数字通信(RS-485)可选择;

气体接触部件材料:SUS 316L不锈钢, PTFE, Hastelloy(哈氏合金), 磁性不锈钢;
满量程流量范围: 10sccm ~ 50slpm
 
 
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