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| Mott高纯产品简介 |
| Mott为半导体制造提供全金属过滤器、最先进的扩散器、及创新的限流器，应用于高纯制造的全金属过滤器最为广泛，合金材料的选择包括316L不锈钢、镍及Hastelloy®;; C-22以确保其化学兼容性，Mott提供全套的标准产品及用户定制产品，为半导体制造提供最优解决方案。 |
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Mott 高纯产品简介
Mott为半导体制造提供全金属过滤器、最先进的扩散器、及创新的限流器，应用于高纯制造的全金属过滤器最为广泛，合金材料的选择包括316L不锈钢、镍及Hastelloy®; C-22以确保其化学兼容性，Mott提供全套的标准产品及用户定制产品，为半导体制造提供最优解决方案。
产品包括：
在线式使用点全金属过滤器 - GasShield®; POU使用点过滤器有超过二十种标准设计产品，最大流量可达600slpm，最大入口压力可达5000psig.
IGS表面安装过滤器 – Mott提供全系列的表面安装过滤器及限流器，与机台、气柜、阀件箱等气体系统接口完全兼容，流量范围为10 ~ 100slpm.
GasShield®; PENTA®; POU 使用点过滤器 – 适用于大流量应用，Mott Penta独特的大流量镍多孔金属过滤介质具有真正的9-Log颗粒过滤效率及低△P特性.
厂务大流量过滤器 – Mott提供高强度、全金属过滤器用于更大流量场合，最大流量为1500slpm.
大宗气体过滤器 – 流量范围为1000slpm ~ 25,000slpm，316L不锈钢或镍多孔金属过滤介质，高压、强腐蚀性气体大流量过滤系统可定制。
垫片式过滤器 – 非常紧凑型设计,内置于1/4”VCR或1/2”VCR管路,安装后不增加管线长度,标准流量为1、3、20slpm.
限流器 – 多孔金属永久恒定流量，标准管路接口，可靠、经济的流量控制，克服了MFC、针阀、及限流片等诸多缺点，下游流量控制范围100 slpm 至 <1 x 10-6 sccm.1 x 10-6 sccm.
气体扩散器 – Mott多孔金属气体扩散器均匀分散的吹扫气体以保证均匀一致的平流气流，消除湍流气体进入EFEM、Load-Lock、硅片转移腔、及工艺腔体对颗粒物的扰动所造成的颗粒污染。
Mott多孔金属产品突出优点：
独特的大流量多孔金属镍过滤介质 - GasShield PENTA 使用点过滤器具有大流量及低压降特点，极低的压降与极薄Teflon-PTFE滤膜相当，且更具有Mott专利多孔金属极高强度、极高颗粒过滤效率、及长使用寿命的优点。
均匀一致、极高精度的多孔材料孔径 – Mott专利NanoMetal多孔金属技术，极致精确度的孔径控制。
深层过滤 – 高压及烧结工艺使得多孔材料内部孔隙无序分布，错综复杂的气体通路使得Mott多孔金属过滤材料更加有效的拦截、俘获各种尺寸的颗粒，足够厚度的多孔金属材料使得颗粒拦截俘获更加高效可靠。
无材料转移 – Mott多孔金属材料之间属于高压高温固态扩散焊合，材料间极强的分子级粘附力使得Mott多孔金属材料极其坚固，即便是在极端条件下使用也牢不可摧。
耐高温 – 全金属、完全焊接结构，最高耐受温度450°C
耐腐蚀 – Mott过滤器、扩散器、及气体分布器等使用316L不锈钢、金属镍、及Hastelloy C-22等材料，极耐腐蚀。
耐高压差 – 最高耐受5000psig入口压力，△P 1000psid 最大压差。
多种材料及产品选择 – 多孔金属过滤材料包括316L不锈钢,，Hastelloy C-22 (哈氏合金)，以及PENTA 镍，具有广泛的化学兼容性，过滤器、扩散器、限流器、及气体分布器等丰富产品线，适合各种不同用途。 |
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