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FLP515 液态源蒸汽过滤器
FLP515FF33
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 50 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
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FLT515 大流量液态源蒸汽过滤器
FLT515FF33
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 100 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
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液态源蒸汽过滤器
极低压差液态源蒸汽颗粒过滤器
大流量，低压降；
标称流量下，≥99.9999999% (9-LRV)颗粒过滤效率 (0.0015µ;m及以上所有尺寸颗粒)；
最高使用温度：450°C；
最大入口压力：2500psig；
材质：100% 316L不锈钢；
漏率：1 x 10-9 atm cc/sec.
最大流量：100slpm
100级洁净间制造，超高纯完全洁净包装。 |
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