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液态源蒸汽过滤器
大流量、极低压降、完全316L不锈钢结构、超高颗粒拦截效率、高颗粒承载能力、及超长使用寿命等,特别适合于极低压差液态源蒸汽颗粒过滤.
液态源蒸汽过滤器
极低压差液态源蒸汽颗粒过滤器
大流量,低压降;
最大流量下,>99.9999999% (9 LRV)颗粒过滤效率 (0.003µ;m及以上所有尺寸颗粒);
最高使用温度:450°C;
最大入口压力:2500psig;
材质:100% 316L不锈钢;
漏率:1 x 10-9 atm cc/sec.
最大流量:50slpm
100级洁净间制造,超高纯完全洁净包装。
 
 
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