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液态源蒸汽过滤器
大流量、极低压降、完全316L不锈钢材质、超高颗粒拦截效率、高颗粒承载能力、及超长使用寿命等,特别适合于极低压差液态源蒸汽颗粒过滤.
FLP515 液态源蒸汽过滤器
FLP515FF33

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 50 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
 
FLT515 大流量液态源蒸汽过滤器
FLT515FF33

主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 100 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 2500 psig (172.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.5 bar)
 
液态源蒸汽过滤器
极低压差液态源蒸汽颗粒过滤器
大流量,低压降;
标称流量下,≥99.9999999% (9-LRV)颗粒过滤效率 (0.0015µ;m及以上所有尺寸颗粒);
最高使用温度:450°C;
最大入口压力:2500psig;
材质:100% 316L不锈钢;
漏率:1 x 10-9 atm cc/sec.
最大流量:100slpm
100级洁净间制造,超高纯完全洁净包装。
 
 
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