产品目录 位置 > 产品与服务 > Mott 过滤器 扩散器 限流器 气体分布器 > 半导体制造用过滤器、扩散器、限流器
限流器
高纯多孔金属限流器,克服了MFC、针阀、及孔式限流片等诸多缺点,用于可靠、经济的流量控制。
高纯多孔金属限流器
高纯多孔金属限流器,克服了MFC、针阀、及孔式限流片等诸多缺点,用于可靠、经济的流量控制。

无论流量控制的优先考虑因素是什么,不管是成本、稳定的性能,或者是抗堵塞,Mott多孔金属限流器满足以上诸多要求,Mott独有的高纯多孔金属限流器适用于半导体等高纯制造。

Mott多孔金属限流器设计紧凑,流量控制持久、可靠:
成本效益最优的设计 – Mott多孔金属限流器设计简洁,标准管路接口,最小化成本以实现最大强度及最可靠流量控制。
固定、防篡改干扰 – 每一个Mott多孔金属限流器按用户指定流量标定,内部没有任何可移动或可调节部件,以实现长期稳定的流量控制。
无堵塞之虞,平流气流 - 多孔金属材料跨越整个内部通道,气体通过千百个微型通路通过多孔金属,不会产生增加气体流速或产生不规则的气流,多孔金属下游气体流速平稳、恒定,多孔金属材料也不会由于气体流动摩擦产生磨损,也不会被零星大颗粒堵塞。

Mott多孔金属限流器其它优点:
全金属构造 – 100%不锈钢、镍、或Hastelloy(哈氏合金)多孔金属材料,永久性置于限流器内部,1/4”VCR或其它式样接头,不含任何塑料或非金属材料,以杜绝颗粒污染;
耐高温、耐高压 – Mott多孔金属不锈钢限流器最高耐温450°C (inert gas),标准最大耐压120 psig,高耐压产品可达1500 psig;
宽流量范围 - 1x10-6 SCCM至100SLPM;
标定 – 氮气及氢气标定曲线,与所有工艺气体兼容,实际特定气体依照该气体参数折算;
100级洁净室制造,完全洁净包装。

相比限流孔(orifice),Mott多孔金属限流器具有以下优点:
极大地减小了通过孔的流量负担 – 常规限流孔(orifice)只有一个孔、一个气体通路,Mott多孔金属限流器具有千百个微孔、千百个微型气体通路;
防止堵塞 – 气流漫布整个多孔金属材料的微孔通过,零星大颗粒不会造成堵塞。
 
SFC静态流量控制器
特性
流量设定范围:1sccm ~ 40slpm *
NIST原始基准可追溯设备标定
精度:+/- 1% 设定流量
重复性:+/- 0.1% 设定流量
按用户使用条件,每个SFC单独标定
高精度、低成本
与常规流量控制器比较,成本大规模降低
不需要定期标定

优势
可靠、坚固
恒定流量、防篡改
长寿命、防阻塞
紧凑型设计、节省空间
流量校正因子,对应不同温度和压力条件
ISO Class 5洁净厂房内制造

*更低或更大流量设定也可以,请联络我们.
 
 
English   |   关于我们   |    方针策略
Copyright © 2007 www.mykrons.com, All Rights Reserved    |    京ICP证09012820号
京公网安备110105007481号