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高纯多孔金属限流器
5140-1/4-SS-GASFLOW-INLET PRESS/OUTLET PRESS-CLS100
5140-1/2-SS-GASFLOW-INLET PRESS/OUTLET PRESS-CLS100
高纯多孔金属限流器，克服了MFC、针阀、及孔式限流片等诸多缺点，用于可靠、经济的流量控制。
无论流量控制的优先考虑因素是什么，不管是成本、稳定的性能，或者是抗堵塞，Mott多孔金属限流器满足以上诸多要求，Mott独有的高纯多孔金属限流器适用于半导体等高纯制造。
Mott多孔金属限流器设计紧凑，流量控制持久、可靠：
成本效益最优的设计 – Mott多孔金属限流器设计简洁，标准管路接口，最小化成本以实现最大强度及最可靠流量控制。
固定、防篡改干扰 – 每一个Mott多孔金属限流器按用户指定流量标定，内部没有任何可移动或可调节部件，以实现长期稳定的流量控制。
无堵塞之虞，平流气流 - 多孔金属材料跨越整个内部通道，气体通过千百个微型通路通过多孔金属，不会产生增加气体流速或产生不规则的气流，多孔金属下游气体流速平稳、恒定，多孔金属材料也不会由于气体流动摩擦产生磨损，也不会被零星大颗粒堵塞。
Mott多孔金属限流器其它优点：
全金属构造 – 100%不锈钢、镍、或Hastelloy（哈氏合金）多孔金属材料，永久性置于限流器内部，1/4”VCR或其它式样接头，不含任何塑料或非金属材料，以杜绝颗粒污染；
耐高温、耐高压 – Mott多孔金属不锈钢限流器最高耐温450°C (inert gas)，标准最大耐压120 psig，高耐压产品可达1500 psig；
宽流量范围 - 1x10-6 SCCM至100SLPM；
标定 – 氮气及氢气标定曲线，与所有工艺气体兼容，实际特定气体依照该气体参数折算；
100级洁净室制造，完全洁净包装。
相比限流孔(orifice)，Mott多孔金属限流器具有以下优点：
极大地减小了通过孔的流量负担 – 常规限流孔(orifice)只有一个孔、一个气体通路，Mott多孔金属限流器具有千百个微孔、千百个微型气体通路；
防止堵塞 – 气流漫布整个多孔金属材料的微孔通过，零星大颗粒不会造成堵塞。
产品型号：5140-1/4-SS-FLOW-CLS100 |
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SFC 静态流量控制器
特性
流量设定范围：1sccm ~ 40slpm *
NIST原始基准可追溯设备标定
精度：+/- 1% 设定流量
重复性：+/- 0.1% 设定流量
按用户使用条件，每个SFC单独标定
高精度、低成本
与常规流量控制器比较，成本大规模降低
不需要定期标定
优势
可靠、坚固
恒定流量、防篡改
长寿命、防阻塞
紧凑型设计、节省空间
流量校正因子，对应不同温度和压力条件
ISO Class 5洁净厂房内制造
*更低或更大流量设定也可以，请联络我们. |
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真空限流器
5140V-1/4-SS-FLOW-GAS-PRESSURE
烧结多孔金属真空限流器(VFR)用于下游腔体为真空的场合，全316L SS材质、10 Ra EP，流量设定范围为 0.1 sccm ~ 40 slpm，完全依照用户实际使用条件标定，基准流量标定设备NIST可追溯.
精度：+/- 2% SP(标定流量)
重复性：+/- 0.1%
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GSMR 1.5 & 1.125” C-seal表面安装(IGS)限流器
GSMR-20-1-GASFLOW-INLET PRESS/OUTLET PRESS-2 PORT-PORT LOCATION-CLS100
GSMR-20-1-GASFLOW-INLET PRESS/OUTLET PRESS-3 PORT-PORT LOCATION-CLS100
材质：316L SS，10 Ra EP
流量标定范围：1*10^-6 SCCM至50SLPM
精度：+/-7% SP(标定流量)(或+/-2%标定流量)
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