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气体供给及混合装置
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蒸汽控制器
LVC-1000 蒸汽控制器
概述
LVC-1000: 实时监测载气和鼓泡气体的流量及浓度，自动调整鼓泡气体的浓度
特性
自动浓度控制，消除由于温度、压力及液面高度变化造成的鼓泡气体浓度不稳定性
适用于多种液体，例如SiCl4，POCl3,和BBr3等
载气流量范围：50 ~ 10,000sccm
液体流量范围：12 ~ 40,000mg
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