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IGS 过滤器
极高颗粒过滤效率、高精度、大流量、长寿命、全金属、1.5"、1.125"、C-Seal、及W-seal IGS(表面安装)过滤器。
IGS 表面安装过滤器
大流量 - Mott专有多孔金属材料具有独特的性能,0.003微米可靠9-LRV颗粒过滤效率,宽广流量范围,最大流量可达100slpm,满足机台升级需要。

全系列 – Mott标准IGS过滤器产品包括1.125” C-Seal 及W-Seal,1.5” C-Seal 及W-Seal.
多种材料选择 – 多孔金属过滤材料包括316L不锈钢,Hastelloy C-22 (哈氏合金),以及PENTA 镍,适合半导体制造各种气体,全金属构造,完全焊接结构,不使用任何塑料或非金属材料,有效杜绝颗粒污染。

完全金属构造,可耐受高温及高压;
完全焊接结构,不使用任何其它密封材料;
标准安装尺寸, 1.125” 及1.5”,标准IGS界面;
Mott专有多孔金属材料,具有独特的性能, 0.003微米可靠9-LRV颗粒过滤效率;
多种材料选择,多孔金属过滤材料包括316L不锈钢,Hastelloy C-22 (哈氏合金),以及PENTA镍。

1.125"
C-Seal 及W-Seal;
气体通路相当于1/4” tubing;
最大流量 50 slpm;
标准模块化底座兼容。

1.5"
C-Seal 及W-Seal;
气体通路相当于1/4" 及 3/8" tubing;
最大流量 100 slpm (大流量类型可达200 slpm);
标准模块化底座兼容。

构造材料: 316L SS,Hastelloy®; C-22 及 PENTA®; Nickel
100级洁净间制造,超高纯洁净包装。
 
 
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