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液体汽化器
UV-206系列
压电控制阀液体汽化器
概述
VU-206系列: 配置压电控制阀的液体汽化器
配合LM-2000P 或 LM-3000L液体质量流量计使用,高效液体汽化控制

特性
压电控制阀,精确控制液体汽化
最高工作温度160℃
金属密封确保长期高密封效果
结构紧凑,体积小巧

介质接触部件材料:SUS316L, Ni-Co, Polyimide;
密封:Au;
最大汽化率:
TEOS: 7g/min
H2O: 0.5g/min
 
UV-430A系列
电磁控制阀液体汽化器

概述
VU-430A系列: 配置电磁控制阀的液体汽化器
配合LM-3000L液体质量流量计使用,高效液体汽化控制

特性
电磁控制阀,高精度控制液体汽化
最高工作温度200℃,适用于低蒸汽压、小流量液体汽化,例如low-k及high-k材料,以及金属化合物等
双喷嘴,辐射加热,快速汽化
金属密封确保长期高密封效果
结构紧凑,体积小巧

介质接触部件材料:SUS316L, Ni-Co, Polyimide;
密封:Au;
最大汽化率:
TEOS: 10g/min
H2O: 1.0g/min
 
UV-450系列
电磁控制阀液体汽化器

概述
VU-450系列: 配置电磁控制阀的液体汽化器
配合LM-3000L液体质量流量计使用,高效液体汽化控制

特性
电磁控制阀,高精度控制液体汽化
与430系列比较,更大的汽化室,更大的汽化量
最高工作温度200℃,适用于低蒸汽压、小流量液体汽化,例如low-k及high-k材料,以及金属化合物等
双喷嘴,辐射加热,快速汽化
金属密封确保长期高密封效果

介质接触部件材料:SUS316L, Ni-Co, Polyimide;
密封:Au;
最大汽化率:
TEOS: 20g/min
H2O: 5.0g/min
 
UV-550系列
高温液体汽化器

概述
VU-450系列: 配置电磁控制阀的液体汽化器
配合LM-3000L液体质量流量计使用,高效液体汽化控制

特性
电磁控制阀,高精度控制液体汽化
与450系列比较,更大的汽化室,更大的汽化量
最高工作温度300℃,适用于低蒸汽压、大流量液体汽化,例如low-k及high-k材料,以及铁电材料等
双喷嘴,辐射加热,快速汽化
金属密封确保长期高密封效果

介质接触部件材料:SUS316L, Ni-Co, Polyimide;
密封:Au;
最大汽化率:
TEOS: 20g/min
H2O: 5.0g/min
 
UV-900系列
轻接触液体汽化器

概述
VU-900系列: 通过减少液体与汽化室直接接触,防止热分解,实现更稳定的液态源汽化
配合LM-3000L液体质量流量计使用,高效液体汽化控制

特性
电磁控制阀,高精度控制液体汽化
适用于热稳定性比较差的材料,例如low-k及high-k材料,以及金属化合物等
双喷嘴,辐射加热,快速汽化
金属密封确保长期高密封效果

介质接触部件材料:SUS316L, Ni-Co, Polyimide; SUS316L; SUS316L, PFA;
密封:Au; Au, Kalrez; Kalrez;
最大汽化率:
H2O: 10g/min
 
UV-1100系列
大流量液体汽化器

概述
VU-1100系列: 大型液体汽化器,适用于大流量液体汽化
配合LM-3000L液体质量流量计与CV-1100系列电磁控制阀使用,高效大流量液体汽化控制

特性
更大的腔室表面积,实现大流量液体汽化,适用于液晶面板及太阳能制造行业等需要大流量汽化及大功率加热能力的应用
喷嘴均匀地将液体引入腔室内壁,在系统内产生高效率的热传导,实现大流量液体的高效汽化
最高工作温度250℃

介质接触部件材料:SUS316L;
密封:Kalrez;
最大汽化率:
H2O: 200g/min
 
VF系列 加热式过滤器
概述
VF系列:加热式过滤器,用于液体汽化器之后去除颗粒及液珠

特性
颗粒过滤精度 0.1μm
加热温度 200°C
全金属构造,洁净外壳
内置温度开光,防止过热
  详细信息请联络 support@mykrons.com .
 
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