|
U20高压标准流量减压阀
高压、标准流量、超高纯半导体制造工艺气体使用、精密圧力调整
入口压力：14.8MPa以下
调整压力：Max. 0.99MPa
(0~0.5MPa，0~0.99MPa)
入口压力衰减：0.00086MPa/0.1MPa (0.86psi/100psi(入口压力))
耐压压力：22.2MPa(入口侧)
使用温度：-10°C~40°C
外部漏率：1*10-11Pa•;m3/sec•;He(真空法) (1x10–10atm・;cc/sec. He)
质量：约1.4Kg
介质接触部件材料
减压阀本体：SUS316L / SUS316L VIM/VAR
膜片：Hastelloy C-22 (哈氏合金)
提升阀及座圈：SUS316L/ Hastelloy C-22 (哈氏合金)
阀座：PCTFE
内表面电解抛光(EP)：3μin.(0.08μm)以下
标准流量: 60slpm |
| |
|
|
|
U25低压标准流量减压阀
低压、标准流量、超高纯半导体制造工艺气体使用、精密圧力调整
(含N20、Cℓ;2、NH3专用减压阀)
入口压力：6.0MPa以下
调整压力：Max. 0.99MPa
(0~0.5MPa，0~0.99MPa)
入口压力衰减：0.0016MPa/0.1MPa (1.6psi/100psi(入口压力))
耐压压力：22.2MPa(入口侧)
使用温度：-10°C~40°C
外部漏率：1*10-11Pa•;m3/sec•;He(真空法) (1x10–10atm・;cc/sec. He)
质量：约1.4Kg
介质接触部件材料
减压阀本体：SUS316L / SUS316L VIM/VAR
膜片：Hastelloy C-22 (哈氏合金)
提升阀及座圈：SUS316L/ Hastelloy C-22 (哈氏合金)
阀座：PCTFE / 特殊树脂材料(CL2，N2O，NH3)
内表面电解抛光(EP)：3μin.(0.08μm)以下
标准流量: 20slpm |
| |
|
|
|
U31低压中流量减压阀
低压、中流量、超高纯半导体制造工艺气体使用、精密圧力调整
入口压力：6MPa以下
调整压力：Max. 0.99MPa
(0~0.5MPa，0~0.99MPa)
入口压力衰减：0.0016MPa/0.1MPa (1.6psi/100psi(入口压力))
耐压压力：9MPa(入口侧)
使用温度：-10°C~40°C
外部漏率：1*10-11Pa•;m3/sec•;He(真空法) (1x10–10atm・;cc/sec. He)
质量：约1.4Kg
介质接触部件材料
减压阀本体：SUS316L / SUS316L VIM/VAR
膜片：Hastelloy C-22 (哈氏合金)
提升阀及座圈：SUS316L/ Hastelloy C-22 (哈氏合金)
阀座：PCTFE
内表面电解抛光(EP)：3μin.(0.08μm)以下
标准流量: 100slpm |
| |
|
|
|
UDM精密电子控制恒压减压阀
低压、标准流量、精密电子控制恒压减压阀
超高纯半导体制造工艺气体使用、精密圧力调整
入口压力：0.99MPa以下
调整压力：5~600KPa
电源电压：DC24V±10%
消耗电流：200mA以下
外部通信：RS-485
压力传感器输入：4~20mA
Air(CDA)供给压力：0.4~0.6MPa
Air(CDA)输出：M5 Female
外部漏率：1*10-11Pa•;m3/sec•;He(真空法) (1x10–10atm・;cc/sec. He)
介质接触部件材料
减压阀本体：SUS316L VIM/VAR
膜片：Co-Ni合金
提升阀及座圈：SUS316L/ Hastelloy C-22 (哈氏合金)
阀座：PCTFE
内表面电解抛光(EP)：3μin.(0.08μm)以下
标准流量: 50slpm |
| |
|
|
|
UDL精密电子控制恒压大流量减压阀
低压、大流量、精密电子控制恒压减压阀
超高纯半导体制造工艺气体使用、精密圧力调整
入口压力：0.99MPa以下
调整压力：5~600KPa
电源电压：DC24V±10%
消耗电流：200mA以下
外部通信：RS-485
压力传感器输入：4~20mA
Air(CDA)供给压力：0.4~0.6MPa
Air(CDA)输出：M5 Female
外部漏率：1*10-11Pa•;m3/sec•;He(真空法) (1x10–10atm・;cc/sec. He)
介质接触部件材料
减压阀本体：SUS316L VIM/VAR
膜片：Co-Ni合金
提升阀及座圈：SUS316L/ Hastelloy C-22 (哈氏合金)
阀座：PCTFE
内表面电解抛光(EP)：3μin.(0.08μm)以下
标准流量: 150slpm |
| |
|
|
|
RVG-10、VG-1 真空发生器
|
| |
|
|
