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扩散器
在不影响产品良率前提下,一个最简单提高机台产能的办法就是加快与集成电路制成不相关的其它每一步骤的速度。其中一个步骤就是Load-Lock的再加压或排放,用于建立一个正压环境抑制颗粒污染从净化间进入反应腔室。
GasShield 多孔金属扩散器
如何在不牺牲良率的前提下最大化机台产能?
在不影响产品良率前提下,一个最简单提高机台产能的办法就是加快与集成电路制成不相关的其它每一步骤的速度。其中一个步骤就是Load Lock的再加压或排放,用于建立一个正压环境抑制颗粒污染从净化间进入反应腔室。

挑战:加压却不扰动颗粒
反应腔室本身是一个被污染的环境,加压时气流会扰动其内部的颗粒使其散落在硅片表面造成污染,如何实现尽量快速的加压而不产生喷射气流来扰动内部颗粒确实是一个挑战。

解决方案:Mott GasShield®; POU使用点扩散器
即便是1/4”管路供气,Mott多孔金属扩散器可以极大地减少Load Lock加压或排放时间而不会产生不良的喷气气流,多孔金属材料极其有效地降低了吹扫气体的速度,以确保平流气体均匀地进入腔室。
通过与Mott多孔金属扩散器比较,其它替代产品比较容易产生单个或多股气流、湍流、及喷射气流,Mott多孔金属扩散器在整个多孔金属材料表面上的气体流速均匀性优于±5%
Mott GasShield POU使用点扩散器多孔金属材料等级从100至专利的新型多孔金属材料NanoMetal®;,NanoMetal®; 多孔金属材料在最大标称流量下可以达到0.003μm 9-log颗粒过滤效率(0.08μmMPPS最容易穿透点颗粒尺寸确认),除标准产品外,用户可按实际需求定制。精心设计的Mott多孔金属扩散器在实现最大流量的同时确保最小压降,以确定通过多孔金属后产生所需的均匀扩散气体平稳地进入腔室。

GasShield 多孔金属扩散器特性
减小腔室充气或排放时间;
阻止湍流进入腔室;
背压可用于确保气体均匀混合;
广泛的标准产品,及用户定制产品;
最高耐温:450°C
非折曲自支撑材料;
100级洁净室制造,超高纯完全洁净包装。
 
NW40 盘式气体扩散器
GSE 系列 / GSE-FLG-1.4-F1-NW40-316L
316L不锈钢多孔金属材料,更高强度,更大耐受压力,三百万次(业界最长)周期寿命

材质
壳体: 316L SS
多孔金属: 316L SS
多孔金属材料与壳体为完全焊接结构
气体接触部件电解抛光(EP): ≤ 10 Ra

性能
去除颗粒尺寸: ≥ 0.003 µ;m
9-log 颗粒过滤效率
颗粒脱落(释放): 背景之上零个颗粒检出(依照SEMI F70-0302测试规范)
可靠性: 5年或三百万次周期寿命(在最大标称使用压力下)

使用条件
最大工作压力: 60 psig (4.0 barg)
最高使用温度: 840°F (450°C)(无密封圈); 212°F (100°C)(安装密封圈)(惰性气体)
最大耐受差压: 75 psid (5.0 bar)

气体管路接口: 1/4”VCR Male Swivel
安装: ISO NW40(Bulkhead mount with standard ISO bulkhead clamps)
 
NW50 盘式气体扩散器
GSE 系列 / GSE-FLG-2.0-F1-NW50-316L
316L不锈钢多孔金属材料,更高强度,更大耐受压力,三百万次(业界最长)周期寿命

材质
壳体: 316L SS
多孔金属: 316L SS
多孔金属材料与壳体为完全焊接结构
气体接触部件电解抛光(EP): ≤ 10 Ra

性能
去除颗粒尺寸: ≥ 0.003 µ;m
9-log 颗粒过滤效率
颗粒脱落(释放): 背景之上零个颗粒检出(依照SEMI F70-0302测试规范)
可靠性: 5年或三百万次周期寿命(在最大标称使用压力下)

使用条件
最大工作压力: 60 psig (4.0 barg)
最高使用温度: 840°F (450°C)(无密封圈); 212°F (100°C)(安装密封圈)(惰性气体)
最大耐受差压: 75 psid (5.0 bar)

气体管路接口: 1/4”VCR Male Swivel
安装: ISO NW50(Bulkhead mount with standard ISO bulkhead clamps)
 
NW100 盘式气体扩散器
GSE 系列 / GSE-FLG-3.6-F1-NW100
烧结多孔金属镍过滤介质,一百万次(业界最长)周期寿命

材质
壳体: 316L SS
多孔金属: 镍
多孔金属材料与壳体为完全焊接结构
气体接触部件电解抛光(EP): ≤ 10 Ra

性能
去除颗粒尺寸: ≥ 0.003 µ;m
9-log 颗粒过滤效率
颗粒脱落(释放): 背景之上零个颗粒检出(依照SEMI F70-0302测试规范)
可靠性: 5年或一百万次周期寿命(在最大标称使用压力下)

使用条件
最大工作压力: 35 psig (2.5 barg)
最高使用温度: 840°F (450°C)(无密封圈); 212°F (100°C)(安装密封圈)(惰性气体)
最大耐受差压: 50 psid (3.5 bar)

气体管路接口: 1/4”VCR Male Swivel
安装: ISO NW100(Designed for bolt through)
 
NW25 管式气体扩散器
GSE 系列 / GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW25
烧结多孔金属镍过滤介质,三百万次(业界最长)周期寿命

材质
壳体: 316L SS
多孔金属: 镍
多孔金属材料与壳体为完全焊接结构
气体接触部件电解抛光(EP): ≤ 10 Ra

性能
去除颗粒尺寸: ≥ 0.003 µ;m
9-log 颗粒过滤效率
颗粒脱落(释放): 背景之上零个颗粒检出(依照SEMI F70-0302测试规范)
可靠性: 5年或三百万次周期寿命(在最大标称使用压力下)

使用条件
最大工作压力: 100 psig (6.9 barg)
最高使用温度: 840°F (450°C)(无密封圈); 212°F (100°C)(安装密封圈)(惰性气体)
最大耐受差压: 115 psid (7.9 bar)

气体管路接口: 1/4”VCR Male Swivel
安装: ISO NW25(Bulkhead mount with standard ISO bulkhead clamps)
 
NW40 管式气体扩散器
GSE 系列 / GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW40
烧结多孔金属镍过滤介质,三百万次(业界最长)周期寿命

材质
壳体: 316L SS
多孔金属: 镍
多孔金属材料与壳体为完全焊接结构
气体接触部件电解抛光(EP): ≤ 10 Ra

性能
去除颗粒尺寸: ≥ 0.003 µ;m
9-log 颗粒过滤效率
颗粒脱落(释放): 背景之上零个颗粒检出(依照SEMI F70-0302测试规范)
可靠性: 5年或三百万次周期寿命(在最大标称使用压力下)

使用条件
最大工作压力: 100 psig (6.9 barg)
最高使用温度: 840°F (450°C)(无密封圈); 212°F (100°C)(安装密封圈)(惰性气体)
最大耐受差压: 115 psid (7.9 bar)

气体管路接口: 1/4”VCR Male Swivel
安装: ISO NW40(Bulkhead mount with standard ISO bulkhead clamps)
 
 
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