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FXP/XP 气体过滤器
FXP 在线式气体过滤器
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.003 µ;m(3nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08µ;m MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 100 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: 3000 psig (206.8 barg)
最高使用温度: 460°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)
 
XP 系列气体过滤器
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.003 µ;m(3nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下,≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范,0.08µ;m MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 60 slpm、100 slpm、160 slpm、300 slpm

材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Nickel)、316L SS
过滤器外壳: 316L SS
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)

使用条件
最大工作压力: DXP & SXP 3000 psig(207 barg) @ 52°C、GXP 2500 psig(172 barg) @ 20°C
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.4 bar)@ 52°C
 
 
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