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大宗及厂务气体过滤器
大宗及厂务气体过滤器 Bulk/Utility Filters
Mott提供高强度，全金属多孔金属大宗及厂务过滤器，以取代传统极薄Teflon滤膜过滤器，消除了由于高温及气体压力波动对过滤器造成的损坏。Mott GasShield大宗及厂务过滤器质量保证期为15年。
最优秀的气体过滤介质
Mott专利烧结金属镍多孔金属过滤介质，高强度，极高颗粒过滤效率，耐高温，高耐受气体压力波动，特别适合于气体纯化器下游颗粒过滤使用，0.0015微米9-LRV颗粒过滤效率，过滤器压降等同或优于传统极薄Teflon滤膜过滤器。
9-Log颗粒过滤效率
最大流量下，>99.9999999%颗粒过滤效率(0.0015µ;m及以上所有尺寸颗粒)，0.08µ;m MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认。
各种极端条件下，完全一致的过滤器性能表现
最高使用温度：450°C (inert gas)；
最大入口压力：300~650psi；
漏率：1 x 10-9 atm cc/sec.
总碳氢化合物(THC)挥发低于仪器检测下限；
ppt dry-down目标可达到；
双倍最大流量下过滤器下游零颗粒检测(过滤器上游颗粒>1万亿)；
材质：316L不锈钢及金属镍。
坚固耐用高品质构造
10 Ra 内表面电解抛光；
最优过滤面积设计，高颗粒负载能力，长使用寿命；
完全焊接结构，消除了其他类型过滤器由于使用高分子聚合物所产生的气体释放(out-gassing)现象；
100级洁净间制造，焊接及测试完全符合SEMI相应标准，超高纯完全洁净包装。 |
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BGF310 大宗气体过滤器
BGF-310-2TS-N-4M
BGF-310-1.5TS-N-4M
BGF-310-1TS-N-4M
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 4500 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 650 psig (44.8 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 250 psid (17.2 bar)
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BGF310H 大宗气体过滤器
BGF-310H-2TS-N-13M
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 9000 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 650 psig (44.8 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 250 psid (17.2 bar)
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BGF315 大宗气体过滤器
BGF-315-2TS-N-6M
BGF-315-1.5TS-N-6M
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 6500 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 650 psig (44.8 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 250 psid (17.2 bar)
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BGF315H 大宗气体过滤器
BGF-315H-40A5S-N-15M
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 15000 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 650 psig (44.8 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 250 psid (17.2 bar)
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BGF610 大宗气体过滤器
BGF-610-4TS-N-19M
BGF-610-2TS-N-19M
BGF-610-1.5TS-N-19M
BGF-610-1TS-N-19M
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 19000 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 450 psig (31.0 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 250 psid (17.2 barg)
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BGF610H 大宗气体过滤器
BGF-610H-4TS-N-30M
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 30000 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 450 psig (31.0 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 250 psid (17.2 barg)
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BGF615 大宗气体过滤器
BGF-615-6TS-N-28M
BGF-615-4TS-N-28M
BGF-615-2TS-N-28M
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 28000 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 400 psig (27.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 250 psid (17.2 barg)
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BGF615H 大宗气体过滤器
BGF-615H-6TS-N-35M
BGF-615H-4TS-N-35M
BGF-615H-2TS-N-35M
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 35000 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 400 psig (27.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 250 psid (17.2 barg)
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BGF615HF 大宗气体过滤器
BGF-615HF-6TS-N-60M
BGF-615HF-4TS-N-60M
BGF-615HF-2TS-N-60M
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 60000 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 镍(Penta Nickel)
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 400 psig (27.5 barg)
最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)
最大耐受压差: 250 psid (17.2 barg)
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BGF-323 大宗气体过滤器
BGF-323-40A5S-F-7M
BGF-323-80A5S-F-7M
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 10000 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 650 psig (44.8 barg)
最高使用温度: 380°C (716°F) (for Inert Gas)
最大耐受压差: 250 psid (17.2 bar)
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BGF-12P23 大宗气体过滤器
BGF-12P23-150A5S-F-170M
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 170000 slpm(10000NM3/HR)
材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 10 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 200 psig (13.8 barg)
最高使用温度: 380°C (for Inert Gas)
最大耐受压差: 175 psid (12.1 barg)
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