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大宗及厂务气体过滤器
Mott提供高强度,全金属多孔金属大宗及厂务过滤器,以取代传统极薄Teflon滤膜过滤器,消除了由于高温及气体压力波动对过滤器造成的损坏。Mott GasShield大宗及厂务过滤器质量保证期为15年。
大宗及厂务气体过滤器
大宗及厂务气体过滤器 Bulk/Utility Filters
Mott提供高强度,全金属多孔金属大宗及厂务过滤器,以取代传统极薄Teflon滤膜过滤器,消除了由于高温及气体压力波动对过滤器造成的损坏。Mott GasShield大宗及厂务过滤器质量保证期为15年。

最优秀的气体过滤介质
Mott专利烧结金属镍多孔金属过滤介质,高强度,极高颗粒过滤效率,耐高温,高耐受气体压力波动,特别适合于气体纯化器下游颗粒过滤使用,0.003微米9-Log颗粒过滤效率,过滤器压降等同或优于传统极薄Teflon滤膜过滤器。

9-Log颗粒过滤效率
最大流量下,>99.9999999%颗粒过滤效率(0.003µ;m及以上所有尺寸颗粒),0.08µ;m MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认。

各种极端条件下,完全一致的过滤器性能表现
最高使用温度:450°C (inert gas);
最大入口压力:300~650psi;
漏率:1 x 10-9 atm cc/sec.
总碳氢化合物(THC)挥发低于仪器检测下限;
ppt dry-down目标可达到;
双倍最大流量下过滤器下游零颗粒检测(过滤器上游颗粒>1万亿);
材质:316L不锈钢及金属镍。

坚固耐用高品质构造
10 Ra 内表面电解抛光;
最优过滤面积设计,高颗粒负载能力,长使用寿命;
完全焊接结构,消除了其他类型过滤器由于使用高分子聚合物所产生的气体释放(out-gassing)现象;
100级洁净间制造,焊接及测试完全符合SEMI相应标准,超高纯完全洁净包装。
 
 
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