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| 数字式质量流量控制器 |
| 多种气体，多种流量范围数字式质量流量控制器及质量流流量计 |
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MC-5000C系列 EtherCAT 通讯协议数字MFC
特性:
EtherCAT 数字通讯,依照SEMI E54.20 -1108;
LINTEC专有温度实时补偿传感器;
内置微处理器,超高性能,超高精度;
控制阀与工艺气体隔膜完全隔离,极小死空间;
高速、高性能、高可靠性压电控制阀;
金属密封确保长期高密封效果;
金属壳体及多重过滤,消除电磁干扰,确保操作稳定性;
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢, PCTFE, PTFE;
密封：Au;
满量程流量范围: 10sccm ~ 50slpm
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢, SUS304, Teflon;
密封：Au, Viton
满量程流量范围: 50slpm ~ 300slpm |
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MC-5000L系列 DeviceNet通讯协议数字MFC
DeviceNet通讯协议数字MFC
特性:
DeviceNet (ODVA) 数字通讯协议;
内置微处理器,超高性能,超高精度;
专利环境温度实时补偿流量传感器;
高速、高性能、高可靠性压电控制阀;
金属(Au)密封确保长期高密封效果;
金属壳体及多重过滤,消除电磁干扰,确保操作稳定性;
+24V单电源;
常规及表面安装;
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢, PCTFE, PTFE;
密封：Au;
满量程流量范围: 10sccm ~ 50slpm
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢, SUS304, Teflon, Viton
密封：Au
满量程流量范围: 50slpm ~ 200slpm |
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MC-700 系列 可变量程（VR）质量流量控制器
可变量程（VR）质量流量控制器
概述:
MC-700系列MFC内置3个可变旋转开关，用于气体种类选择及满量程流量调整
特性:
可变旋转开关及可变量程(VR)功能可以提供一对多设备支持，省去对备件的需求；
RS-485数字通讯协议（网络支持32 MFC连接）;
内置微处理器,超高性能,超高精度;
专利环境温度实时补偿流量传感器;
控制阀与工艺气体隔膜完全隔离,极小死空间;
高速、高性能、高可靠性压电控制阀;
金属密封确保长期高密封效果;
金属壳体及多重过滤,消除电磁干扰,确保操作稳定性;
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢, PCTFE, PTFE;
密封：SUS316L;
满量程流量范围: 10sccm ~ 50slpm |
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MC-3000L系列
超高性能数字MFC，超高控制精度+/-1.0 S.P.
概述:
MC-3000L系列超高性能数字MFC，超高控制精度+/-1.0 S.P.
特性:
超高控制精度+/-1.0 S.P.；
RS-485数字通讯协议;
内置微处理器,超高性能,超高精度;
专利环境温度实时补偿流量传感器;
控制阀与工艺气体隔膜完全隔离,极小死空间;
高速、高性能、高可靠性压电控制阀;
金属密封确保长期高密封效果;
金属壳体及多重过滤,消除电磁干扰,确保操作稳定性;
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢, PTFE;
密封：Au;
满量程流量范围: 10sccm ~ 50slpm
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢, SUS304, Teflon;
密封：Au;
满量程流量范围: 50sccm ~ 400slpm |
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MC-3000S系列 低差压质量流量控制器
低差压质量流量控制器
特性:
低压力差装置；
RS-485数字通讯协议;
内置微处理器,超高性能,超高精度;
专利环境温度实时补偿流量传感器;
控制阀与工艺气体隔膜完全隔离,极小死空间;
高速、高性能、高可靠性压电控制阀;
金属密封确保长期高密封效果;
金属壳体及多重过滤,消除电磁干扰,确保操作稳定性;
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢, SUS304, PCTFE;
密封：Au;
满量程流量范围: 2sccm ~ 30slpm |
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MC-3000L-TC系列 高温MFC
高温MFC
特性:
最高使用温度120°C；
RS-485数字通讯协议;
内置微处理器,超高性能,超高精度;
专利环境温度实时补偿流量传感器;
控制阀与工艺气体隔膜完全隔离,极小死空间;
高速、高性能、高可靠性压电控制阀;
金属密封确保长期高密封效果;
金属壳体及多重过滤,消除电磁干扰,确保操作稳定性;
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢, PCTFE;
密封：Au;
满量程流量范围: 10sccm ~ 5000sccm |
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MC-3000E 系列
高性能数字MFC（金属密封，压电控制阀，超高精度）
RSC232C及RS485数字通讯
兼容模拟量控制MFC
总流量累积功能
自报警功能
优化数字PID控制
专利环境温度实时补偿流量传感器(美国，日本)
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢, PCTFE;
密封：Au;
满量程流量范围: 10sccm ~ 20SLM |
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