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产品目录 位置 > 产品与服务 > LINTEC 质量流量控制器 流量计 汽化器 > 气体质量流量控制器及质量流量计
压力控制器
PC-3102L 压力控制器
概述
PC-3102L：内置压力传感器及压电控制阀，高性能压力控制器

特性
模拟或数字(RS-485)控制
内置微处理器,超高性能,超高精度
控制阀与工艺气体隔膜完全隔离,极小死空间
高速、高性能、高可靠性压电控制阀
金属密封确保长期高密封效果
金属壳体及多重过滤,消除电磁干扰,确保操作稳定性

气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢, Hastelloy C-22, PTFE;
密封：Au;
流量(N2): 5slm
 
 
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